Role of ion mass on damage accumulation during ion implantation in Ge

• 期刊名称physica status solidi (a)
• 作者Napolitani, E.; Bruno, E.; Bisognin, G.; Mastromatteo, M.; De Salvador, D.; Scapellato, G. G.; Boninelli, S.; Priolo, F.; Privitera, V.; Carnera, A.
• 卷第211卷
• 期第1期
• 印刷ISSN1862-6300
• 文件大小348.84KB
• 发表时间2014-01
• DOI10.1002/pssa.201300324
• 页码118-121