Formation and structure of mesoporous silicon
Kargin, N. I.; Sultanov, A. O.; Bondarenko, A. V.; Bondarenko, V. P.; Red’ko, S. V.; Ionov, A. S.
- 期刊名称Russian Microelectronics
- 作者Kargin, N. I.; Sultanov, A. O.; Bondarenko, A. V.; Bondarenko, V. P.; Red’ko, S. V.; Ionov, A. S.
- 卷第43卷
- 期第8期
- 印刷ISSN1063-7397
- 电子ISSN1608-3415
- 文件大小698.96KB
- 发表时间2014-12
- DOI10.1134/s106373971408006x
- 页码531-535