PVD TiN for Bottom Electrode of Phase Change Memory

Ren, W.; Liu, B.; Xu, Z.; Xu, J.; He, A.; Jiang, L.; Jing, X.; Xiang, Y.; Zhang, B.; Ren, J.; Jan, Y.; Rao, F.; Duan, S.; Yu, Q.; Song, Z.; Feng, S.

期刊名称ECS Transactions
作者Ren, W.; Liu, B.; Xu, Z.; Xu, J.; He, A.; Jiang, L.; Jing, X.; Xiang, Y.; Zhang, B.; Ren, J.; Jan, Y.; Rao, F.; Duan, S.; Yu, Q.; Song, Z.; Feng, S.
卷第60卷
期第1期
印刷ISSN1938-6737
电子ISSN1938-5862
文件大小2177.71KB
发表时间2014-02-27
DOI10.1149/06001.0533ecst
页码533-538

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