Impact of gallium implant for advanced CMOS halo/pocket optimization
Y. Chin; C. Yang; T. Lee; S. Yeh; W. Chang; S. Huang; N. Yang; C. Chien; J. Lin; G. Li; J. Wu; B. Guo; B. Colombeau; T. Thanigaivelan; N. Pradhan; T. Wu; M. Hou; S. Chen; C. Chung; T. Toh; D. Kouzminov; D. Barrett; K. Shim
- 作者Y. Chin; C. Yang; T. Lee; S. Yeh; W. Chang; S. Huang; N. Yang; C. Chien; J. Lin; G. Li; J. Wu; B. Guo; B. Colombeau; T. Thanigaivelan; N. Pradhan; T. Wu; M. Hou; S. Chen; C. Chung; T. Toh; D. Kouzminov; D. Barrett; K. Shim
- 文件大小3155.56KB
- 发表时间2014
- DOI10.1109/IIT.2014.6939771