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Investigation of anodic silicon dioxide thin films for microelectromechanical systems applications

Investigation of anodic silicon dioxide thin films for microelectromechanical systems applications

Pal, Prem; Ashok, Akarapu
  • 期刊名称Micro & Nano Letters
  • 作者Pal, Prem; Ashok, Akarapu
  • 卷第9卷
  • 期第12期
  • 电子ISSN1750-0443
  • 文件大小482.75KB
  • 发表时间2014-12-01
  • DOI10.1049/mnl.2014.0360
  • 页码830-834
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