Novel microstructured evaporation device
- 期刊名称Microsystem Technologies
- 作者Wibel, Wolf; Maikowske, Stefan; Brandner, Juergen J.
- 卷第21卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小1023.06KB
- 发表时间2015-3
- DOI10.1007/s00542-013-2011-9
- 页码549-560
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