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A MEMS Implementation of a Classic Parametric Resonator

A MEMS Implementation of a Classic Parametric Resonator

Shmulevich, Shai; Grinberg, Inbar; Elata, David

期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
作者Shmulevich, Shai; Grinberg, Inbar; Elata, David
印刷ISSN1057-7157
电子ISSN1941-0158
文件大小1488.16KB
发表时间2015
DOI10.1109/JMEMS.2015.2402223
页码1-1

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