Configurable Compliant Substrates for SiGe Nanomembrane Fabrication
Aqua, Jean-Noël; Favre, Luc; Ronda, Antoine; Benkouider, Abdelmalek; Berbezier, Isabelle
- 期刊名称Crystal Growth & Design
- 作者Aqua, Jean-Noël; Favre, Luc; Ronda, Antoine; Benkouider, Abdelmalek; Berbezier, Isabelle
- 卷第15卷
- 期第7期
- 印刷ISSN1528-7483
- 电子ISSN1528-7505
- 文件大小7164.98KB
- 发表时间2015-07
- DOI10.1021/acs.cgd.5b00485
- 页码3399-3406