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Highly Efficient Passive Thermal Micro-Actuator

Steiner, Harald; Keplinger, Franz; Schalko, Johannes; Hortschitz, Wilfried; Stifter, Michael

期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
作者Steiner, Harald; Keplinger, Franz; Schalko, Johannes; Hortschitz, Wilfried; Stifter, Michael
卷第24卷
期第6期
印刷ISSN1057-7157
电子ISSN1941-0158
文件大小1998.62KB
发表时间2015-12
DOI10.1109/jmems.2015.2457094
页码1981-1988