A Novel Turbomolecular Pump for R&D and Analytical Applications
Funke, Ralf; Schnacke, Ernst; Voss, Gerhard
- 期刊名称Vakuum in Forschung und Praxis
- 作者Funke, Ralf; Schnacke, Ernst; Voss, Gerhard
- 卷第27卷
- 期第2期
- 印刷ISSN0947-076X
- 文件大小447.08KB
- 发表时间2015-04
- DOI10.1002/vipr.201500577
- 页码30-35