Non-Traditional Cell Geometry for Improved Copper Plating Uniformity
- 期刊名称Journal of The Electrochemical Society
- 作者Garich, Holly; Shimpalee, Sirivatch; Lilavivat, Visarn; Snyder, Stephen; Taylor, E. J.
- 卷第163卷
- 期第8期
- 印刷ISSN0013-4651
- 电子ISSN1945-7111
- 文件大小1063.01KB
- 发表时间2016
- DOI10.1149/2.0491608jes
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