Pull-In Effect of Suspended Microchannel Resonator Sensor Subjected to Electrostatic Actuation

• 期刊名称Sensors
• 作者Yan, Han; Zhang, Wen-Ming; Jiang, Hui-Ming; Hu, Kai-Ming
• 卷第17卷
• 期第12期
• 电子ISSN1424-8220
• 文件大小7755.66KB
• 发表时间2017-01-08
• DOI10.3390/s17010114