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Co and CoTi x for contact plug and barrier layer in integrated circuits

Co and CoTi x for contact plug and barrier layer in integrated circuits

Hosseini, Maryamsadat; Ando, Daisuke; Sutou, Yuji; Koike, Junichi

期刊名称Microelectronic Engineering
作者Hosseini, Maryamsadat; Ando, Daisuke; Sutou, Yuji; Koike, Junichi
卷第189卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小1298.14KB
发表时间2018-04
DOI10.1016/j.mee.2017.12.017
页码78-84

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