Theoretical modal analysis and parameter study of Z-shaped electrothermal microactuators
- 期刊名称Microsystem Technologies
- 作者Zhang, Zhuo; Yu, Yueqing; Zhang, Xuping
- 印刷ISSN0946-7076
- 电子ISSN1432-1858
- 文件大小1704.48KB
- 发表时间2018-1-11
- DOI10.1007/s00542-018-3709-5
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