Borosilicate Glass MEMS Lorentz Force Magnetometer
Kahr, Matthias; Domke, Matthias; Steiner, Harald; Hortschitz, Wilfried; Stifter, Michael
- 期刊名称Proceedings
- 作者Kahr, Matthias; Domke, Matthias; Steiner, Harald; Hortschitz, Wilfried; Stifter, Michael
- 卷第2卷
- 期第13期
- 电子ISSN2504-3900
- 文件大小2575.60KB
- 发表时间2018-11-23
- DOI10.3390/proceedings2130788