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Epitaxial Ge-rich silicon layers after dry oxidation of Ge implanted silicon

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Baghizadeh, A.; Lotfi, E.; Agha–Aligol, D.

期刊名称Vacuum
作者Baghizadeh, A.; Lotfi, E.; Agha–Aligol, D.
卷第160卷
印刷ISSN0042-207X
文件大小1596.49KB
发表时间2019-02
DOI10.1016/j.vacuum.2018.11.045
页码311-315

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