Crystallinity and texture of molybdenum thin films obliquely deposited at room temperature

Liedtke-Grüner, Susann; Grüner, Christoph; Lotnyk, Andriy; Gerlach, Jürgen W.; Mensing, Michael; Schumacher, Philipp; Rauschenbach, Bernd

期刊名称Thin Solid Films
作者Liedtke-Grüner, Susann; Grüner, Christoph; Lotnyk, Andriy; Gerlach, Jürgen W.; Mensing, Michael; Schumacher, Philipp; Rauschenbach, Bernd
卷第685卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小640.98KB
发表时间2019-09
DOI10.1016/j.tsf.2019.05.062
页码8-16

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