Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers

Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Ehrig, Lutz; Stolz, Michael; Schenk, Hermann; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Schimmanz, Klaus; Schuffenhauer, David

期刊名称Microsystems & Nanoengineering
作者Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Ehrig, Lutz; Stolz, Michael; Schenk, Hermann; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Schimmanz, Klaus; Schuffenhauer, David
卷第5卷
期第1期
电子ISSN2055-7434
文件大小1472.10KB
发表时间2019-12
DOI10.1038/s41378-019-0095-9

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