![Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)]()
Erfassung von Standardgeometrieelementen im Mikrometerbereich: Herausforderungen und Lösungsansätze (Characterization of Standard-Geometry Micro Structures: Chances and Challenges)Fleischer, Jürgen; Buchholz, Ivesa; Peters, Jochen; Viering, Benjamin; Goch, Gert; Patzelt, Stefan; Tausendfreund, Andreas; Mehner, Jan; Dötzel, Wolfram; Shaporin, Alexey; Neuschaefer-Rube, Ulrich; Hilpert, Uwe; Simon, Sven; Tutsch, Rainer; Herbst, Christian; Weckenmann, Albert; Hoffmann, Jörg; Krämer, Philipp · tm - Technisches Messen · 2008