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Lateral growth control in excimer laser crystallized polysilicon

L. Mariucci; R. Carluccio; A. Pecora; V. Foglietti; G. Fortunato; P. Legagneux; D. Pribat; D. Della Sala; J. Stoemenos

作者L. Mariucci; R. Carluccio; A. Pecora; V. Foglietti; G. Fortunato; P. Legagneux; D. Pribat; D. Della Sala; J. Stoemenos
卷第337卷
印刷ISSN0040-6090
文件大小1332.40KB
发表时间1999
DOI10.1016/s0040-6090(98)01174-2
页码137-142