发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

CD control using SiON BARL processing for sub-0.25 μm lithography

F. Zhang; M. Op de Beeck; M. Schaekers; K. Ronse; W. Conley; P. Gopalan; H. Gangala; M. Dusa; J. Bendik

作者F. Zhang; M. Op de Beeck; M. Schaekers; K. Ronse; W. Conley; P. Gopalan; H. Gangala; M. Dusa; J. Bendik
卷第46卷
印刷ISSN0167-9317
文件大小342.35KB
发表时间1999
DOI10.1016/s0167-9317(99)00013-1
页码51-54