Investigations of the structure of a-C:H films
R. Kleber; W. Dworschak; J. Gerber; A. Krüger; K. Jung; H. Ehrhardt; S. Schulze; I. Mühling; S. Deutschmann; W. Scharff; F. Engelke; H. Metz
- 作者R. Kleber; W. Dworschak; J. Gerber; A. Krüger; K. Jung; H. Ehrhardt; S. Schulze; I. Mühling; S. Deutschmann; W. Scharff; F. Engelke; H. Metz
- 卷第140卷
- 印刷ISSN0921-5093
- 文件大小349.34KB
- 发表时间1991
- DOI10.1016/0921-5093(91)90512-l
- 页码775-779