Miniaturized electrostatic analyzer manufactured using photolithographic etching
Enloe, C. L.; Krause, L. Habash; Haaland, R. K.; Patterson, T. T.; Richardson, C. E.; Lazidis, C. C.; Whiting, R. G.
- 期刊名称Review of Scientific Instruments
- 作者Enloe, C. L.; Krause, L. Habash; Haaland, R. K.; Patterson, T. T.; Richardson, C. E.; Lazidis, C. C.; Whiting, R. G.
- 卷第74卷
- 期第3期
- 印刷ISSN0034-6748
- 文件大小581.58KB
- 发表时间2003
- DOI10.1063/1.1540715