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On the Preferential Etching of GaAs by H[sub 2]SO[sub 4]-H[sub 2]O[sub 2]-H[sub 2]O

On the Preferential Etching of GaAs by H[sub 2]SO[sub 4]-H[sub 2]O[sub 2]-H[sub 2]O

MacFadyen, D. N.

期刊名称Journal of The Electrochemical Society
作者MacFadyen, D. N.
卷第130卷
期第9期
印刷ISSN0013-4651
文件大小1494.95KB
发表时间1983
DOI10.1149/1.2120126

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